空气动力监测器VMICVMIPMC-5565

空气动力监测器 VMIC VMIPMC-5565

空气动力监测器 VMIC VMIPMC-5565

空气动力监测器 VMIC VMIPMC-5565

Brooks Instruments Model 1355EEA7AADC1A

Brooks Instrument 5850 Mass Flow Controller 5850e

Brooks Instrument 5850 Mass Flow Controller 5850

Brooks instrument-model #1350eeb6ckf1a 

Brooks Instruments Sho-Rate Flow Meter Model 1355EG2ACFA1B 

Brooks Instruments Sho-Rate Flow Meter Model 1355ED2ACFA1B 

Brooks Instrument Model 5850E Mass Flow Controller O-Ring Kit Part# S375Z278SUA

Brooks Instruments 1355FBH7AEA1A , R-2-15-AA , S925R067WAA

Brooks Instruments 1355EBA7C1F1A 0-50

Brooks Instrument Flow Meter Model 1110CJ43CEGAA

2几何误差补偿技术 　　针对误差的不同类型，实施误差补偿可分为两大类。随机误差补偿要求“在线测量”，把误差检测装置直接安装在机床上，在机床工作的同时，实时地测出相应位置的误差值，用此误差值实时的对加工指令进行修正。随机误差补偿对机床的误差性质没有要求，能够同时对机床的随机误差和系统误差进行补偿。但需要一整套完整的测量装置和其它相关的设备，成本太高，经济效益不好。文献[4]进行了温度的在线测量和补偿，未能达到实际应用。系统误差补偿是用相应的仪器预先对机床进行检测，即通过“离线测量”得到机床工作空间指令位置的误差值，把它们作为机床坐标的函数。机床工作时，根据加工点的坐标，调出相应的误差值以进行修正。要求机床的稳定性要好，机床误差的确定性，以便于修正，经补偿后的机床精度取决于机床的重复性和环境条件变化。数控机床在正常情况下，重复精度远其空间综合误差，故系统误差的补偿可有效的提高机床的精度，甚至可以提高机床的精度等级。迄今为止，国内外对系统误差的补偿方法有很多，可分为以下几种方法： 　　2.1单项误差合成补偿法 　　这种补偿方法是以误差合成公式为理论依据，通过直接测量法测得机床的各项单项原始误差值，由误差合成公式计算补偿点的误差分量，从而实现对机床的误差补偿。对三坐标测量机进行位置误差测量的当属Leete,运用三角几何关系,推导出了机床各坐标轴误差的表示方法,没有考虑转角的影响。较早进行误差补偿的应是Hocken教授，针对型号Moore5-Z（1）的三坐标测量机，在16小时内，测量了工作空间内大量的点的误差，在此过程中考虑了温度的影响，并用小二乘法对误差模型参数进行了辨识。由于机床运动的位置信号直接从激光干涉仪获得，考虑了角度和直线度误差的影响，获得比较满意的结果。1985年G.Zhang成功的对三坐标测量机进行了误差补偿。测量了工作台平面度误差，除在工作台边缘数值稍大，其它不超过1μm，验证了刚体假设的可靠性。使用激光干涉仪和水平仪测量得的21项误差，通过线性坐标变换进行误差合成，并实施了误差补偿。X-Y平面上测量试验表明，补偿前,在所有测量点中误差值大于20μm的点占20%，在补偿后，不超过20%的点的误差大于2μm，证明精度提高了近10倍。